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ボイドレスリフロー |
| MKR-1200 |
| 局所真空を採用することによりボイドを極限まで低減！ |
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| ●ウエハー12インチ対応 ●真空10Pa以下、酸素濃度50ｐｐｍ以下 ●ゾーンを回転式にすることで、コンパクトな設計を達成 ●ウェハー搬送ロボット（オプション）ウェハー自動搬送対応（アライナー付）フープオーナー又はオープンキャリア MINAMIのリフローはここが優れている！ 1.メインゾーンでは、加熱しながらの局所真空引きによってボイド発生を低減します 2.加熱システムは、プリヒーター：3ゾーン、メインヒーター：1ゾーン、冷却：1ゾーン（温度コントロール付）の5ゾーン構成です 3.モニター上では生産レシピー以外に、生産中のウエハー位置が人目で分かるようにシグナル表示付でそのほかにも、運転中の動作表示灯があります 上面は遠赤外線ヒーター・下面は灼熱プレート、チャンバー雰囲気は無風に近い雰囲気炉を実現 4.水素プラズマ処理（オプション）の追加が可能 5.フラックス回収機構を標準装備 |
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| 【基本仕様】 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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