| 機種 |
MKR-8000 |
| 標準外形寸法･重量 |
(D)1800mm×(W)1500mm×(H)1950mm、約1400kg |
| 使用電源 |
3相 AC200V 10KVA 50/60Hz |
| 使用空気圧 |
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メイン |
0.6Mpa 120㍑/min ドライエアー クラス1000 |
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冷却 |
0.4Mpa 80～100㍑/min ドライエアー クラス1000 |
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窒素ガス |
0.3～0.4Mpa 立ち上げ時:約300㍑/min 生産時:約150㍑/min |
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エアー継ぎ手 |
装置側 ハイカプラ20PF（日東工器） 納入先側 ハイカプラ200-20SH |
| シリコンウエハーサイズ |
8インチ 6インチ 厚さ725μm±10μm |
| 設置環境条件 |
温度:10～35℃ 湿度:15～85%RH（結露不可） 周囲環境:腐食性ガスのない |
| 搬送 |
インデックステーブル方式 右回転 |
| 真空ポンプ |
DSB-601（アルバック機構製） |
| 電装 |
液晶タッチパネル方式 200品種までデータ設定可能 |
| プラックス回収 |
フィルター（活性炭） カートリッジ交換タイプ |
